下载一种测试物体两个面垂直度的方法及系统的技术资料

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本发明公开了一种测试物体两个面垂直度的方法及系统。该方法包括:将一定直径尺寸的平行光束入射至半透半反镜后被分为两部分,一部分光束被物体的第一待测面反射至光探测器的第一位置,另一部分光束被物体的第二待测面反射至光探测器的第二位置;调整物体的放...
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