一种测试物体两个面垂直度的方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种测试物体两个面垂直度的方法及系统。该方法包括：将一定直径尺寸的平行光束入射至半透半反镜后被分为两部分，一部分光束被物体的第一待测面反射至光探测器的第一位置，另一部分光束被物体的第二待测面反射至光探测器的第二位置；调整物体的放置角度，在第一位置与光探测器的中心重合时，固定物体，并记录下第二位置；根据第二位置和第一待测面与光探测器之间的垂直距离获知第一待测面与第二待测面的垂直偏离度数。本发明专利技术的方案只需要根据反射至光探测器上的光束位置及待测面与光探测器之间的垂直距离，即可直接获得物体两个面的垂直偏离度数和垂直偏离方向，省略了复杂的结果处理过程，测试方法高效、简单便捷。

Method and system for testing verticality of two planes of object

The invention discloses a method and system for testing verticality of two surfaces of objects. The method comprises: parallel incident beam diameter to a semi transparent mirror is divided into two parts, the first part of the beam is the object to be measured surface reflection light detector to the first position, the other part of the beam is second objects to be measured surface reflected to the optical detector second position angle; the adjustment object, fixed objects in the centers of a first position and a light detector, and record the position, two; according to the second position and the vertical distance between the measured surface and the light detector that first plane to be measured and tested the vertical deviation of second degrees. The scheme of the invention only need to reflect to the light detector on the beam position and measured the vertical distance between the surface and the light detector, the object can be directly obtained two degrees and the vertical deviation of the vertical deviation direction, complex results omitted process and test method of high efficiency, simple and convenient.

【技术实现步骤摘要】
一种测试物体两个面垂直度的方法及系统
本专利技术涉及光学测量测试领域，特别涉及一种测试物体两个平面垂直度的方法及系统。
技术介绍
现有技术通常采用垂直角规、精密量表、三次元量床等工具测量两个面的垂直度，操作复杂，不易于微小物体平面的垂直度检测。现有的光学测量系统可以对微小待测物进行测量，利用数字图像处理技术处理光的干涉条纹，得到两个面的偏移角度和偏移方向，处理结果较为复杂，不利于快速获得处理结果。因此，需要提供一种测量方法及装置，解决测量困难和结果处理困难等问题。
技术实现思路
为了解决现有技术中测试物体两个平面垂直度存在的测量困难和结果处理困难的问题，本专利技术提供一种测试物体两个平面垂直度的测试方法及系统。根据本专利技术的一个方面，提供一种测试物体两个面垂直度的方法，所述方法包括：在物体的周围设置半透半反镜和光探测器，所述半透半反镜的中心轴线和所述光探测器的中心轴线呈45度锐角；将一定直径尺寸的平行光束入射所述半透半反镜，所述平行光束入射至半透半反镜后被分为两部分，一部分被反射至所述物体的第一待测面，所述第一待测面再将该部分光束反射至所述光探测器的第一位置；另一部分被透射至所述物体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试物体两个面垂直度的方法，其特征在于，所述方法包括：在物体的周围设置半透半反镜和光探测器，所述半透半反镜的中心轴线和所述光探测器的中心轴线呈45度锐角；将一定直径尺寸的平行光束入射至所述半透半反镜，所述平行光束入射至半透半反镜后被分为两部分，一部分被反射至所述物体的第一待测面，所述第一待测面再将该部分光束反射至所述光探测器的第一位置；另一部分被透射至所述物体的第二待测面，所述第二待测面再将该部分光束反射至所述光探测器的第二位置；调整所述物体的放置角度，在所述第一位置与所述光探测器的中心重合时，固定所述物体，并记录下所述第二位置；根据所述第二位置和所述第一待测面与所述光探测器之间的垂直距离...

【技术特征摘要】
1.一种测试物体两个面垂直度的方法，其特征在于，所述方法包括：在物体的周围设置半透半反镜和光探测器，所述半透半反镜的中心轴线和所述光探测器的中心轴线呈45度锐角；将一定直径尺寸的平行光束入射至所述半透半反镜，所述平行光束入射至半透半反镜后被分为两部分，一部分被反射至所述物体的第一待测面，所述第一待测面再将该部分光束反射至所述光探测器的第一位置；另一部分被透射至所述物体的第二待测面，所述第二待测面再将该部分光束反射至所述光探测器的第二位置；调整所述物体的放置角度，在所述第一位置与所述光探测器的中心重合时，固定所述物体，并记录下所述第二位置；根据所述第二位置和所述第一待测面与所述光探测器之间的垂直距离获知所述第一待测面与所述第二待测面的垂直偏离度数。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二位置和所述第一待测面与所述光探测器之间的垂直距离获知所述第一待测面与所述第二待测面的垂直偏离度数包括：根据公式A＝[arttan(Y/X)]/2获得所述第一待测面与所述第二待测面的垂直偏离度数A，其中X为所述第一待测面与所述光探测器之间的垂直距离，Y为所述第二位置与所述光探测器的中心之间的距离。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在固定所述物体之前，调整所述物体的放置位置，使得所述第一待测面与所述光探测器之间的垂直距离等于预定距离值，然后再固定所述物体；在所述第一待测面与所述光探测器之间的垂直距离等于预定距离值时，所述根据所述第二位置和所述第一待测面与所述光探测器的距离获知所述第一待测面与所述第二待测面的垂直偏离度数具体为：根据所述第二位置与所述光探测器的中心的距离获知所述第一待测面与所述第二待测面的垂直偏离度数。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述光探测器上以中心为圆心划分有若干不同半径的同心圆环，在所述第一待测面与所述光探测器之间的垂直距离等于预定距离值时，每个圆环区域对应不同的垂直偏离度数；所述根据所述第二位置距离所述光探测器的中心的距离获知所述第一待测面与所述第二待测面的垂直偏离度数具体为：根据所述第二位置所处的圆环区域获知所述第一待测面与所述第二待测面的垂直偏离度数。5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述第一待测面与所述第二待测面的垂直偏离度数包括零值、正值和负值，垂直偏离度数为零值时，所述第一待测面与所述第二待测面垂直；垂直偏离度数为正值时，所述第一待测面与所述第二待测面不垂直，且所述第二待测面向外侧偏离；垂直偏离度数为...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁卫涛，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37