下载基于结构光的微纳结构二维超分辨检测方法的技术资料

文档序号:16642110

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本发明公开了一种基于结构光的微纳结构二维超分辨检测方法,包括:当投影装置中无光栅时,摄像装置获取一帧灰度图,在其他条件不变的情况下,在投影装置中加入光栅,摄像装置获取一帧条纹变形的结构光场图。分别对两幅图进行Fourier变换,将得到的两频...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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