下载一种带状离子束注入调节结构的技术资料

文档序号:16638132

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本实用新型公开一种带状离子束注入调节结构,包括铁芯,铁芯包括上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块,上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块围成一个供带状离子束通过的通孔,通孔的上端设有由多个呈片状的上线圈连续叠加而成的第一马鞍形线圈组,通孔...
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