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本发明涉及一种智能电弧离子源，包括电磁线圈模块、靶材、水冷模块和永磁体模块。水冷模块包括铜阴极体、阴极体盖和通水螺纹杆，铜阴极体设有水冷通道，阴极体盖与铜阴极体固定连接，通水螺纹杆为中空的管体，其穿过阴极体盖与水冷通道相连通。阴极体盖通过连...
该专利属于东北大学;沈阳添和毅科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过东北大学;沈阳添和毅科技有限责任公司授权不得商用。

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