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一种抛光液，包括铜离子和氯离子，Ｃｕ／Ｃｌ摩尔比为１０↑［－１］到１０↑［３］，ｐＨ为０．５到１０，适合于抛光由比如铜或铜合金的有色金属材料构成的表面。可以以高去除速率抛光更厚的金属膜，以便膜厚度分布变得均匀。...
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