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本发明涉及研磨液组合物及研磨粒子调配液，含有研磨材料和水，ｐＨ值为０．１～７，且满足以下条件：（１）在每１ｃｍ↑［３］的研磨液组合物或研磨粒子调配液中，大于等于０．５６μｍ但不足１μｍ的研磨粒子为５０００００个或以下，（２）大于等于１μｍ的...
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