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一种片状液相纳米颗粒制备方法技术
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文档序号:16628077
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一种片状液相纳米颗粒制备方法,包括如下步骤:(1)在平整衬底上沉积可溶解的牺牲层薄膜材料;(2)再在牺牲层上沉积功能材料;(3)在功能材料层上沉积并制备聚合物材料的纳米图案;(4)以聚合物材料的纳米图案作为刻蚀掩模,利用刻蚀技术将纳米图案转...
该专利属于边捷所有,仅供学习研究参考,未经过边捷授权不得商用。
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