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本发明提供一种紫外辐照装置，所述紫外辐照装置包括：腔室，用于容置基材；样品台，用于承载所述基材，位于所述腔室顶部或底部；紫外灯，用于发射紫外光，与所述样品台相对设置，位于所述腔室顶部或底部；以及镜面反射结构，设置在所述腔室内，用于反射所述紫...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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