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一种增强发光效率稳定输出波长的半导体激光器制造技术
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文档序号:16607059
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本发明公开了一种增强发光效率稳定输出波长的半导体激光器。该半导体激光器通过在传统半导体激光器外延材料制备基础上,在半导体激光器外延结构中的上波导层上制备周期分布的金属纳米圆盘阵列实现增强发光效率稳定输出波长,所涉及的金属纳米圆盘周期阵列具有...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。
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