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制造半导体装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:16606649
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公开了一种用于制造半导体装置的方法以及设备。该方法包括:将晶片设置在支承件上;覆盖晶片的中心晶片部分;以及从晶片切去晶片的边缘晶片部分。根据设备的实施方式,该设备包括:被配置成支承晶片的支承件;被配置成覆盖晶片的中心晶片部分的遮挡装置;以及...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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