下载一种肖特基势垒接触的沟槽型超势垒整流器的技术资料

文档序号:16604186

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本实用新型公开了一种肖特基势垒接触的沟槽型超势垒整流器;所述肖特基势垒接触的沟槽型超势垒整流器包括上电极层、重掺杂第一导电类型衬底层、轻掺杂第一导电类型外延层、第二导电类型体区、第二导电类型埋层、栅介质层、栅电极层、肖特基势垒接触区和下电极...
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