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洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准装置属于精密测量技术领域。其校准装置以双频激光干涉仪作为运动基准，音圈电机作为宏动驱动元件，气浮导轨作为宏动导向元件，电容传感器与双频激光干涉仪作为宏动反馈元件进行宏动粗定位；采用压电陶瓷位移台进行微动定位，...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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