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本发明公开了一种具有自适应性的抛光头和具有其的化学机械抛光装置，所述抛光头包括：枢轴组件，所述枢轴组件包括轴体和转盘，所述转盘与所述轴体相连且与所述轴体同轴设置，所述转盘的外周壁设有缘板；夹片组件，所述夹片组件上设有适于与所述转盘配合的凹槽...
该专利属于清华大学;天津华海清科机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;天津华海清科机电科技有限公司授权不得商用。

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