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蓝宝石晶片的加工方法和激光加工装置制造方法及图纸
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文档序号:16595629
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提供一种蓝宝石晶片的加工方法和激光加工装置,不论蓝宝石晶片的结晶缺陷的差异如何都能够良好地形成改质层。蓝宝石晶片的加工方法构成为具有:对于卡盘工作台上的蓝宝石晶片按照规定的激光加工条件对外周剩余区域照射激光光线而试验加工出改质层的步骤;根据...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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