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稀土复合离子注入发光材料制备方法技术
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文档序号:1659562
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本发明一种稀土复合离子注入制备发光材料的方法,其特征在于,其中包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在该衬底上注入稀土离子的复合离子;步骤3:退火,完成发光材料的制备。其核心是在离子注入进行稀土离子掺杂时利用稀土复合离子同步注入掺入其它杂...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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