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一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构制造技术
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文档序号:16588785
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本发明公开了一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构,涉及光电子技术领域。所述的探测器阵列结构包括基底、导线和叉指电极元件;导线包括行导线和列导线,所有的列导线在基底表面等间距排布,所有的行导线垂直于列导线等间距排布,行导线与列导线的交叉部分绝...
该专利属于北京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京邮电大学授权不得商用。
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