一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构制造技术

本发明专利技术公开了一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构，涉及光电子技术领域。所述的探测器阵列结构包括基底、导线和叉指电极元件；导线包括行导线和列导线，所有的列导线在基底表面等间距排布，所有的行导线垂直于列导线等间距排布，行导线与列导线的交叉部分绝缘；行导线和列导线分割的空间内布置叉指电极元件；叉指电极元件两端分别连接在行导线和列导线上。本发明专利技术实现了任意尺寸、大小的阵列，工艺可控性强，成本低操作步骤简单，可大面积制备、重复性好、开发周期短，还能利用后续电路处理动态控制任意位置单元的工作状态，具有广阔的应用前景。

An array structure of ultraviolet detector based on interdigital electrode

The invention discloses an ultraviolet detector array structure based on a interdigital electrode, which relates to the photoelectron technology field. Detector array structure comprises a substrate, conductor and interdigital electrode element; wire including line conductors and column conductors, all column conductors on the substrate surface equidistant arrangement, all the line perpendicular to the wire wire spacing column arrangement, cross section of line conductors and column conductors insulated wires and column conductors for segmentation; the space layout of the interdigital electrode element; interdigital electrode elements are respectively connected with both ends of row and column conductors on the wire. The invention realizes the array size, arbitrary size, strong process controllability, low cost simple operation steps, can be prepared in a large area, good repeatability, short development cycle, but also the use of follow-up circuitprocessing dynamic control unit at any location in the working state, and has broad application prospects.

【技术实现步骤摘要】
一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构
本专利技术涉及光电子
，具体是一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构。
技术介绍
紫外探测技术因为不主动向外辐射电磁波而具有很高的隐蔽性能，因工作于光波段而不易受波长更长的电磁波干扰，能在强电磁辐射环境下正常工作，成为了21世纪现代战场所急切需求的高新探测预警技术。紫外探测在军事领域，科学研究，工农业生产及日常生活等方方面发挥着越来越大的作用。随着微电子技术的飞速发展，紫外探测器件已经由第一代的光电倍增管和第二代的位敏器件发展到了由半导体材料制造的第三代器件，基于宽禁带半导体的日盲紫外探测器因其体积小、寿命长和功耗低等优点，逐步取代真空光电管成为了当前的主流研究方向。紫外探测系统一般由探测器阵列、读出电路和后续的信号处理电路三部分组成，紫外光探测器是整个紫外探测系统的重要部分，是将紫外光强信号转化为电信号的主要器件，目前已经能够通过各单项工艺的比较，优化器件制作的工艺流程，制备出单个高性能的日盲型紫外探测器，它们响应速度快，光暗电流比高、体重小、功耗低、量子效率高，便与集成。随着光电器件朝集成化、小型化的方向发展，阵列化的光电探测器则成为了大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构，其特征在于，包括基底、导线和叉指电极元件；所述的导线包括行导线和列导线，所有的列导线在基底表面等间距排布，所有的行导线垂直于列导线等间距排布，行导线与列导线的交叉部分绝缘；行导线和列导线分割的空间内布置叉指电极元件，叉指电极元件按导线间距以矩阵方式排列，电极两端分别连接在行导线和列导线上，每一列叉指电极的阳极都接在本列的列导线上，每一行叉指电极的阴极都接在本行的行导线上，叉指电极与所有的列导线之间的角度相同。

【技术特征摘要】
1.一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构，其特征在于，包括基底、导线和叉指电极元件；所述的导线包括行导线和列导线，所有的列导线在基底表面等间距排布，所有的行导线垂直于列导线等间距排布，行导线与列导线的交叉部分绝缘；行导线和列导线分割的空间内布置叉指电极元件，叉指电极元件按导线间距以矩阵方式排列，电极两端分别连接在行导线和列导线上，每一列叉指电极的阳极都接在本列的列导线上，每一行叉指电极的阴极都接在本行的行导线上，叉指电极与所有的列导线之间的角度相同。2.如权利要求1所述的一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构，其特征在于，所述的叉指电极与行导线和列导线均呈45度角排列。3.如权利要求1所述的一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构，其特征在于，基底为单晶基片或在衬底上沉积的纳米结构薄膜。4.如权利要求1所述的一种基于叉指电极的紫外探测器阵列结构，其特征在于，所述的行导线之间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐为华，彭阳科，
申请(专利权)人：北京邮电大学，
类型：发明
国别省市：北京,11