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本发明公开一种刻蚀设备的监控装置及刻蚀方法。所述监控装置包括与刻蚀设备电连接的控制系统、以及与控制系统电连接的传感器，传感器对准承载待刻蚀基板的工位，用于检测待刻蚀基板的刻蚀图案是否满足预设要求，控制系统用于根据传感器的检测结果控制刻蚀设备...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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