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一种大口径激光曝光系统技术方案
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下载一种大口径激光曝光系统的技术资料
文档序号:16586498
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本发明属于光学元件制作领域,具体涉及一种用于制作衍射光学元件的具有大曝光尺寸的大口径激光曝光系统。该激光曝光系统包括上导光棱镜、下导光棱镜、波导板、蓄液槽和支撑机构,通过分别位于波导板的上下两侧的上导光棱镜和下导光棱镜,将上下两束入射激光以...
该专利属于天津津航技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过天津津航技术物理研究所授权不得商用。
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