下载光刻胶图案形成方法及压印模具的技术资料

文档序号:16586487

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本申请公开了一种光刻胶图案形成方法及压印模具,方法包括以下步骤:在基底上涂覆光刻胶;通过压印模具对光刻胶进行压印,压印模具包括透光区和遮光区,透光区和遮光区之一为光刻胶固化覆盖区,光刻胶固化覆盖区设置有至少一个朝向光刻胶的凸起,凸起的宽度小...
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