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本实用新型公开了一种直写曝光光路系统，属于直写曝光机技术领域，所述光路系统包括多排DMD组件，每排上的DMD组件组件成直线排列，相邻两排曝光组件交错分布，每个DMD组件组件都对应在相邻排两个DMD组件组件的中间位置；所述直写曝光光路系统可以...
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