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本发明公开了一种高选择性浅槽隔离化学机械抛光浆料，包括：水、氧化铈、分散剂、聚甲基丙烯酸盐、pH缓冲调节剂；按照质量百分比计，氧化铈的含量为0.3‑25％，聚甲基丙烯酸盐为固体氧化铈的0.05％‑5％，分散剂为聚甲基丙烯酸盐的10％‑50％...
该专利属于包头天骄清美稀土抛光粉有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过包头天骄清美稀土抛光粉有限公司授权不得商用。

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