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一种可调平面阴极机构及真空镀膜装置，包括平面阴极部件及多个移位组件。平面阴极部件包括阴极体基座、背板、靶材压板及多个磁体组件；背板与阴极体基座形成收容腔；靶材压板用于将靶材定位于背板的外侧；多个磁体组件设于收容腔中，多个磁体组件与背板相对而...该专利属于中国南玻集团股份有限公司;深圳南玻应用技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国南玻集团股份有限公司;深圳南玻应用技术有限公司授权不得商用。