下载一种硅片激光刻边设备的技术资料

文档序号:16572042

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本实用新型公开了一种硅片激光刻边设备,包括用于放置硅片并带动硅片在水平面内旋转的旋转平台和沿旋转平台外围圆周布置的激光发生器,激光发生器的发射头对准硅片的侧面圆周以便发射头发射的激光去除硅片周边的PN结。本实用新型采用激光发生器并配合可带动...
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