温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，石墨坩埚座内设有坩埚安装面，其特征在于：石墨坩埚座由四瓣结构相同的基本单元组装拼接后形成周边闭合的桶形结构，相邻基本单元的结合部为安装贴合面，拼装后的桶形结构的桶底的內壁坩埚安装面，桶底的...
该专利属于南京晶能半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京晶能半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。