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热丝组件及金刚石薄膜沉积设备制造技术
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文档序号:16561235
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本实用新型公开了一种热丝组件,包括电极、热丝及承载所述热丝的两个热丝承载架,所述热丝承载架相互平行的装设于电极上,并可在所述电极上滑动而调节相对所述电极的位置,同时,所述热丝组件还包括两进气装置,每一进气装置分别对准一热丝承载架上的热丝,所...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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