热丝组件及金刚石薄膜沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种热丝组件，包括电极、热丝及承载所述热丝的两个热丝承载架，所述热丝承载架相互平行的装设于电极上，并可在所述电极上滑动而调节相对所述电极的位置，同时，所述热丝组件还包括两进气装置，每一进气装置分别对准一热丝承载架上的热丝，所述热丝将进气装置输出的气体迅速离化，使该气体被激发成沉积金刚石薄膜用的基团，最终沉积于待加工样品上形成金刚石薄膜。本实用新型专利技术还公开了一种金刚石薄膜沉积设备。本实用新型专利技术的热丝组件及金刚石薄膜沉积设备，解决传统金刚石薄膜沉积设备中热量分布不均、热丝变形、刀具基体冷却不均匀等导致加工不良的问题。

Filament assembly and diamond film deposition equipment

The utility model discloses a filament assembly, including two wire electrodes, wires and bearing the wire carrier, the wire bearing frame of parallel arranged on the electrode, and can slide on the electrode and adjust the relative position of the electrode at the same time, the assembly also includes a wire two air intake device, each intake device are respectively aligned with a wire on the bearing frame wire, the wire will output gas inlet device rapid ionization, the gas is excited into diamond film deposited by the group, eventually to be processed samples deposited in the form of diamond films. The utility model also discloses a diamond film deposition equipment. Filament assembly and diamond thin film deposition device of the utility model, to solve the traditional diamond thin film deposition equipment in heat deformation, uneven distribution, wire cutter body leads to uneven cooling processing problems.

【技术实现步骤摘要】
热丝组件及金刚石薄膜沉积设备
本技术涉及化学气相沉积金刚石图层领域，尤其涉及一种用于沉积金刚石薄膜的热丝组件以及用于在刀具上加工金刚石薄膜的金刚石薄膜沉积设备。
技术介绍
随着机械加工工业的迅速发展，加工业对各类刀具的需求量越来越大。因此，提高刀具的使用寿命成为加工工业的一大需求。而制备高性能涂层是提高刀具使用寿命普遍使用的方法之一。金刚石具有极高的硬度、弹性模量、热导率和化学稳定性，是十分理想的刀具涂覆材料。热丝化学气相沉积(HotFilamentChemicalVaporDeposition,HFCVD)法由于其成本低，设备及工艺简单，可在复杂形状上制备金刚石薄膜等优点而成为常用的金刚石涂层刀具生产方法。虽然HFCVD法制备金刚石薄膜刀具材料具有诸多优点，但仍存在许多技术问题，如刀具表面受热不均，刀刃部分的局部高温而导致的薄膜剥落等。导致这些问题的主要原因有：(1)热丝为单面设计，使得刀具朝向热丝的一面温度高于另一面的温度，导致刀具表面受热不均；(2)刀刃部分比较薄，易产生热量集中，从而导致局部温度较高，超出金刚石薄膜沉积的条件范围；(3)刀具材料与金刚石薄膜之间的热膨胀系数差异本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热丝组件，包括电极、热丝及用以安装所述热丝的热丝承载架，其特征在于，所述热丝承载架为两个，两个所述热丝承载架相互平行，且两个所述热丝承载架可拆卸地装设于所述电极上，并可沿着所述电极的轴向方向滑动以调节所述热丝承载架上所述热丝的位置，所述热丝组件还包括两个进气装置，每一所述进气装置分别对准每一所述热丝承载架上的热丝，所述热丝将所述进气装置输出的气体分解为沉积金刚石薄膜用的基团。

【技术特征摘要】
1.一种热丝组件，包括电极、热丝及用以安装所述热丝的热丝承载架，其特征在于，所述热丝承载架为两个，两个所述热丝承载架相互平行，且两个所述热丝承载架可拆卸地装设于所述电极上，并可沿着所述电极的轴向方向滑动以调节所述热丝承载架上所述热丝的位置，所述热丝组件还包括两个进气装置，每一所述进气装置分别对准每一所述热丝承载架上的热丝，所述热丝将所述进气装置输出的气体分解为沉积金刚石薄膜用的基团。2.如权利要求1所述的热丝组件，其特征在于，所述电极上开设有滑槽，所述滑槽沿着所述电极的轴向方向延伸开设，所述热丝承载架的一端可滑动地装设于所述滑槽内。3.如权利要求1所述的热丝组件，其特征在于，所述电极上设有制冷模组，所述制冷模组用以对所述热丝组件上的热丝进行散热。4.如权利要求1所述的热丝组件，其特征在于，所述热丝承载架包括固定框以及连接至所述固定框一端的张紧框，所述张紧框上间隔设置有多个弹性件，所述热丝的相对两端均固定至所述固定框上，所述张紧框上的弹性件连接至所述热丝除两端之外的位置并拉紧所述热丝，所述进气装置正对所述固定框上设置有所述热丝的位置。5.如权利要求4所述的热丝组件，其特征在于，每一所述弹性件连接至一所述热丝，所述弹性件的正投影与相连的所述热丝的正投影处于同一直线上，以沿所述热丝的延伸方向张紧所述热丝。6.如权利要求1所述的热丝组件，其特征在于，所述热丝承载架包括固定框以及连接至所述固定框一端的张紧框，所述张紧框上间隔设置有多个弹性件，所述热丝的一端固定至所述固定框上，另一端直接连接至所述张紧框上的弹性件，所述张紧框相对于所述固定框转动以拉紧所述热丝，所述进气装置正对所述固定框上设置有所述热丝的位置。7.如权利要求4-6任一项所述的热丝组件，其特征在于，所述张紧框通过铰接的方式与所述固定框连接，且所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐永炳，谢友能，王陶，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：新型
国别省市：广东,44