下载微电子结构及其形成方法的技术资料

文档序号:16558082

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本发明揭示了一种微电子结构及其形成方法。该微电子结构的形成方法,包括在一衬底上原位形成一石墨烯层,此石墨烯层包括至少一层石墨烯结构,且具有大于300meV的能隙,形成一第一绝缘层,使石墨烯层与衬底之间以第一绝缘层间隔,在石墨烯层上形成一第二...
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