下载一种工件显微缺陷检测系统的技术资料

文档序号:16556433

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本发明公开了一种工件显微缺陷检测系统,包括显微镜、显微镜三向位置调整平台和万向托举支架,显微镜固定连接在显微镜三向位置调整平台上,显微镜三向位置调整平台实现显微镜X向、Y向、Z向三个方向的调整,三向位置调整平台下端固定连接在万向托举支架上;...
该专利属于贵州电网有限责任公司电力科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过贵州电网有限责任公司电力科学研究院授权不得商用。

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