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气体匀流组件及片材表面处理装置制造方法及图纸
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下载气体匀流组件及片材表面处理装置的技术资料
文档序号:16549801
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本实用新型公开的气体匀流组件,包括相互连通的第一匀流件和第二匀流件,第一匀流件通过气体控制阀门连通气管,第一匀流件具有多个分气通路,第二匀流件上开设多个气孔,多个气孔与多个分气通路相通。本实用新型公开的片材表面处理装置,利用气流对片材进行表...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。
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