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本发明公开了一种无损伤硅片吸盘，包括：与硅片相接触的吸取部；以及与吸取部一体成型的根部，其中，吸取部与硅片相接触面上开设有至少两个吸嘴，无损伤硅片吸盘的内部开设有通往根部并连通外界的气路，气路与吸嘴相连通。根据本发明，其在提高工作效率的同时...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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