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本发明提供了一种场效应晶体管及其制备方法，该方法包括通过含有黑磷纳米片或黑磷量子点的溶液在基板的上方形成有源层；形成与有源层接触的源极图案层和漏极图案层。通过这种方法，使用溶液法以黑磷纳米片或黑磷量子点为材料制备场效应晶体管中的有源层，制程...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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