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基于直接光学反馈的二维快速控制反射镜及激光扫描器制造技术
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下载基于直接光学反馈的二维快速控制反射镜及激光扫描器的技术资料
文档序号:16548212
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本实用新型公开了基于直接光学反馈的二维快速控制反射镜及激光扫描器。本实用新型通过三个压电驱动结构支撑反射镜,其支撑点呈正三角排布,克服了现有技术中反射镜非对称支撑结构存在的稳定性差、轴间干扰严重的问题,使得反射镜支撑结构稳定,从而提高了二维...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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