基于直接光学反馈的二维快速控制反射镜及激光扫描器制造技术
Two dimensional fast control mirror and laser scanner based on direct optical feedback
The utility model discloses a two-dimensional fast control mirror and a laser scanner based on direct optical feedback. The utility model by three piezoelectric driven reflecting mirror support structure, the supporting point of a right triangle arrangement, to overcome the interference problems the stability of supporting structure and axial symmetry difference between non reflective mirror in the prior art, the mirror support structure is stable, so as to improve the control precision of the two-dimensional fast steering mirror.
【技术实现步骤摘要】
基于直接光学反馈的二维快速控制反射镜及激光扫描器
本技术涉及光通信
，尤其涉及二维快速控制反射镜及激光扫描器。
技术介绍
激光扫描器在近代尖端工业生产和科学研究中有着广泛的应用。其中激光扫描器包括反射镜控制部件，其为一种可精确控制激光束指向的器件，可以补偿激光的抖动误差，保证激光束能够实时对准，常用于高精度工业加工系统、高能激光系统、激光通信系统和成像系统等。现有技术中，如压电激光扫描器是采用压电陶瓷作为驱动源、柔性铰链作为传动机构的一种新型激光扫描器，具有结构小巧、驱动速度快、扫描精度高、容易集成和可实现单镜面二维扫描等优点，近年来得到了学术界和工业界的广泛重视。其中，现有技术中提出过一种基于PSD反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统，提出了采用PSD（PositionSensitiveDetector，位置敏感探测器）作为反馈核心的思想。其利用两个带压电陶瓷的柔性铰链-位移放大支撑结构和一个不带压电陶瓷的固定支撑结构共同构成支架的三个支点支撑反射镜，通过给两个压电陶瓷施加一定的驱动电压，使压电陶瓷伸缩方向位移发生变化，从而可以使反射镜在二维方向上发生偏转...
【技术保护点】
一种基于直接光学反馈的二维快速控制反射镜，其特征在于：包括平行光束发射器、半反半透镜、反射镜、位置敏感探测器、闭环控制电路和用于支撑反射镜的三个压电驱动结构，所述三个压电驱动结构对反射镜的支撑点呈正三角形排列；所述反射镜包括用于反射平行光束发射器所发出光束的反射点，反射点位于所述正三角形的中心，所述平行光束发射器发出的光束由半反半透镜反射至反射镜背面的反射点上，所述光束经反射镜反射后再入射到半反半透镜上，所述入射到半反半透镜上的部分光束透过半反半透镜而直接投射到位置敏感探测器上；所述位置敏感探测器的输出端与闭环控制电路的输入端连接。
【技术特征摘要】
2016.12.16 CN 20161118253651.一种基于直接光学反馈的二维快速控制反射镜，其特征在于：包括平行光束发射器、半反半透镜、反射镜、位置敏感探测器、闭环控制电路和用于支撑反射镜的三个压电驱动结构，所述三个压电驱动结构对反射镜的支撑点呈正三角形排列；所述反射镜包括用于反射平行光束发射器所发出光束的反射点，反射点位于所述正三角形的中心，所述平行光束发射器发出的光束由半反半透镜反射至反射镜背面的反射点上，所述光束经反射镜反射后再入射到半反半透镜上，所述入射到半反半透镜上的部分光束透过半反半透镜而直接投射到位置敏感探测器上；所述位置敏感探测器的输出端与闭环控制电路的输入端连接。2.二维快速控制反射镜根据权利要求1所述的一种基于直接光学反馈的二维快速控制反射镜，其特征在于：所述压电驱动结构包括二维柔性铰链、压电陶瓷和椭圆形位移放大部件，所述二维柔性铰链和椭圆形位移放大部件一体相连，所述压电陶瓷嵌入在椭圆形位移放大部件中，所述二维柔性铰链为反射镜提供支撑点。3.根据权利要求1所述的一种基于直接...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈巍，徐越，张花信，刘鹏，陈良培，焦国华，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：新型
国别省市：广东,44
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