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本发明涉及太阳能电池制造技术领域，尤其是涉及一种PECVD镀膜的气体控制方法以及设备。该方法包括如下步骤：将硅烷供气管路、氨气供气管路和笑气供气管路分别连接于PECVD的反应腔，并在每种供气管路上配置有一气体流量控制器；根据每层待镀的膜层结...
该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司授权不得商用。

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