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本发明公开用于快速加工高硬度、高脆性基板的研磨板及利用其的基板研磨装置。本发明的研磨板的特征在于，研磨板具有金属粒子分散于高分子的形态，且上述金属粒子属于碳含量为0.12重量百分比以下的碳钢材质。此时，优选地，上述金属粒子属于碳含量为0.0...
该专利属于二和金刚石工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过二和金刚石工业株式会社授权不得商用。

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