用于快速加工高硬度、高脆性基板的研磨板及研磨装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开用于快速加工高硬度、高脆性基板的研磨板及利用其的基板研磨装置。本发明专利技术的研磨板的特征在于，研磨板具有金属粒子分散于高分子的形态，且上述金属粒子属于碳含量为0.12重量百分比以下的碳钢材质。此时，优选地，上述金属粒子属于碳含量为0.01重量百分比以下、硬度为400MPa以下的低碳钢材质。并且，优选地，上述金属粒子具有100～200μm的大小。

Grinding plate and grinding device for rapid processing of high hardness and high brittleness substrate

The invention discloses a grinding plate for rapidly processing high hardness and high brittleness substrate and a substrate grinding device using the same. The invention is characterized in that the grinding plate, grinding plate with metal particles dispersed in the polymer morphology, and the metal particles belong to the carbon content of 0.12 weight percent following carbon steel. At this time, preferably, the above metal particles belong to the low carbon steel material with the carbon content of 0.01 and the weight of less than 400MPa. And, preferably, the metal particles have a size of 100~200 M.

【技术实现步骤摘要】
用于快速加工高硬度、高脆性基板的研磨板及研磨装置
本专利技术涉及一种能够以精密研磨蓝宝石基板等用途进行利用的研磨板(LappingPlate)，更详细地涉及通过提高研磨速度来达到高效率、优秀的精密度的研磨板。并且，本专利技术涉及利用上述研磨板的基板研磨装置。
技术介绍
为了基板的精密研磨，研磨板与钻石浆料一同使用。研磨板可分为由树脂与金属的复合体形成的金属类树脂板和由树脂与陶瓷的复合体形成的非金属类树脂板。若利用这种研磨板，则在基板研磨工序中，包含在浆料的钻石镶嵌于研磨板所包含的金属成分中来进行加工。与本专利技术相关的
技术介绍
有在日本公开专利公报2009-172737号(2009年08月06日)中所公开的晶片研磨装置及制造方法。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题本专利技术的目的在于，提供能够快速加工高脆性、高硬度的大面积蓝宝石晶片的优秀的研磨板。本专利技术的另一目的在于，提供能够利用上述研磨板来精密研磨高硬度、高脆性基板，尤其是蓝宝石基板的基板研磨装置。技术方案为了实现上述目的，本专利技术实施例的研磨板的特征在于，具有金属粒子分散于高分子的形态，且上述金属粒子属于碳含量为0.12重量百分比以下的碳钢材质。此时，优选地，上述金属粒子属于碳含量为0.01重量百分比以下、硬度(Hardness)为400MPa以下的低碳钢材质。并且，优选地，上述金属粒子呈表面为皱褶形态的块状。并且，优选地，上述金属粒子具有100～200μm的大小。并且，优选地，上述金属粒子呈具有100～200μm的大小且表面为皱褶形态的块状，属于碳含量为0.01重量百分比以下、硬度为400MPa以下的低碳钢材质。并且，上述金属粒子可占上述研磨板总体积的20～40％。并且，优选地，上述高分子可包括硫化橡胶(vulcanizedrubber)、环氧类树脂、聚酯类树脂及酚醛类树脂中的一种以上。为了实现上述另一目的，本专利技术实施例的基板研磨装置的特征在于，包括：上述研磨板；支撑板，与上述研磨板的下部面相结合，来支撑上述研磨板；钻石浆料供给部，用于向上述研磨板的上部面供给钻石浆料；以及基板设置部，设置作为研磨对象的基板，在进行研磨工序时，使得上述基板与上述研磨板上部面的钻石浆料相接触。有益效果本专利技术的研磨板使金属粒子以铁(Fe)作为基础。这种以铁作为基础的研磨板比以铜(Cu)作为基础的研磨板呈现出相对高的加工速度。尤其，以铁作为基础的金属粒子属于硬度为400MPa以下、碳含量为0.01％的低碳钢材质，在具有100～200μm大小且呈表面为皱褶形态的块状的情况下，与以往的以铜作为基础的研磨板相比，加工速度提高4倍以上。附图说明图1为可适用于本专利技术的研磨板的Fe粒子的示意图。图2简要示出利用本专利技术的研磨板的基板研磨装置。附图标记的说明301：基板302：钻石浆料310：研磨板320：支撑板330：钻石浆料供给部340：基板设置部具体实施方式本专利技术的优点和特征以及实现其的方法可通过参照附图和详细说明的实施例来变得更加明确。但是，本专利技术并不局限于以下所公开的实施例，而是能够以互不相同的多种形态来体现，本实施例只用于使本专利技术的公开更加完整，并用于向本专利技术所属
的普通技术人员完整地告知本专利技术的范畴，本专利技术仅由专利技术要求保护范围来定义。在说明书全文中，相同的附图标记表示相同的结构要素。以下，参照附图对本专利技术的优选实施例的用于快速加工高硬性、高脆性基板的研磨板及利用其的基板研磨装置进行详细说明。本专利技术实施例的研磨板的特征在于，研磨板具有金属粒子分散于高分子的形态，且上述金属粒子属于碳含量为0.12重量百分比以下的碳钢材质。碳钢为包含碳的钢，根据碳含量分为高碳钢、中碳钢、低碳钢等。本专利技术利用的碳钢属于碳含量为0.12重量百分比以下的中碳钢或低碳钢。一方面，在本专利技术中，碳钢可仅包含铁和碳，但是并不局限于此，不仅包含铁和碳，而且可作为杂质或有意地追加包含一种以上的锰、铝、磷、硫、铬、钒、铌、钙、氮等合金元素。为了精密研磨基板，本专利技术的研磨板与钻石浆料一同使用。通常使用的钻石粒子的大小为3～6μm。在研磨板表面形成有从平面上看上去呈同心圆、螺旋等模样的切割面呈U字形或V字形的槽。优选地，高分子包括热固性树脂。在进行研磨工序时，由于产生热量，因此，相比于利用热塑性高分子，优选地利用热固性树脂。热固性树脂可包括硫化橡胶、环氧类树脂、聚酯类树脂及酚醛类树脂中的一种以上。尤其，本专利技术的研磨板包含铁。这种以铁作为基础的粒子的硬度及定伸应力(Modulus)比现有的以铜作为基础的粒子高，且表面积大。因此，具有相对高暴露的大量的working钻石存在于铁粒子的剖面，可明显提高蓝宝石晶片加工速度。因此，本专利技术的包含铁的研磨板可通过增加在研磨工序中对加工起到贡献的钻石的数量来以速度达到以往研磨板的3～5倍的速度进行精密加工。此时，优选地，上述金属粒子属于碳含量为0.01重量百分比以下、硬度(Hardness)为400MPa以下的低碳钢材质。碳含量越少，可降低硬度，并可增加在研磨工序中对加工起到贡献的钻石的数量，因而有利于提高研磨速度。并且，优选地，上述金属粒子呈表面为皱褶形态的块状。由于块状金属粒子所具有的非表面积可比球状金属粒子大，因而通过提高与树脂之间的结合力来抑制在研磨工序中从树脂脱离，从而可增加对加工起到贡献的钻石的数量。并且，优选地，上述金属粒子具有100～200μm的大小。同样，只有在金属粒子的大小大于100μm，才能增加在研磨工序中对加工起到贡献的钻石的数量。最为优选地，上述金属粒子呈具有100～200μm的大小且表面为皱褶形态的块状，属于碳含量为0.01重量百分比以下、硬度为400MPa以下的低碳钢材质。并且，上述金属粒子占上述研磨板总体积的20～40％。若研磨板中的金属粒子的体积小于20％，则有可能导致研磨效率降低。相反，若研磨板中的金属粒子的体积大于40％，则将提高树脂的粘度，导致与原材料的搅拌变差，在制造研磨板时，意外产生大量气孔，从而有可能导致研磨精密度下降及外观不良。图2简要示出本专利技术的利用研磨板的基板研磨装置。参照图2，所示的基板研磨装置包括研磨板310、支撑板320、钻石浆料供给部330及基板设置部340。如上所述，研磨板310具有金属粒子分散于高分子的形态，且上述金属粒子属于碳含量为0.12重量百分比以下的碳钢材质，更优选地，金属粒子呈表面为皱褶形态的块状。为了通过钻石粒子对基板301进行研磨，研磨板310水平旋转。当然，可在使研磨板310固定的状态下，通过使基板301进行旋转来进行研磨。支撑板320与上述研磨板310的下部面相结合，来支撑上述研磨板310。优选地，支撑板320属于强度高的钢铁材质。钻石浆料供给部330通过向上述研磨板310的上部面供给钻石浆料302来在进行研磨工序时向研磨板310与基板301之间供给钻石粒子。在基板设置部340设置作为研磨对象的基板301，在进行研磨工序时，使得基板301与研磨板310上部面的钻石浆料320相接触。为此，基板设置部340可在设置基板301的状态下进行上下运动。当然，也可在使基板设置部340固定的状态下，使研磨板310及支撑板320的结合体进行上下运动。如上所述，本专利技术的研磨板包括块状的金属粒子，最终，可获得在对蓝宝石基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种研磨板，其特征在于，具有金属粒子分散于高分子的形态，且上述金属粒子属于碳含量为0.12重量百分比以下的碳钢材质。

【技术特征摘要】
2016.04.29 KR 10-2016-00528701.一种研磨板，其特征在于，具有金属粒子分散于高分子的形态，且上述金属粒子属于碳含量为0.12重量百分比以下的碳钢材质。2.根据权利要求1所述的研磨板，其特征在于，上述金属粒子属于碳含量为0.01重量百分比以下、硬度为400MPa以下的低碳钢材质。3.根据权利要求1所述的研磨板，其特征在于，上述金属粒子呈表面为皱褶形态的块状。4.根据权利要求1所述的研磨板，其特征在于，上述金属粒子具有100～200μm的大小。5.根据权利要求1所述的研磨板，其特征在于，上述金属粒子呈具有100～20...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴熹东，尹重喆，赵宰汉，郑在龙，
申请(专利权)人：二和金刚石工业株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR