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半导体晶片和/或基板加工用粘合片制造技术
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文档序号:1653395
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本发明的目的在于提供一种与作为粘附物的半导体晶片和/或基板等的粘附物表面的凹凸没有关系,通过良好地追随粘附面的凹凸而确保充分的粘附力,同时在照射紫外线和/或放射线后,使粘附力降低至进行拾取等时的最适值,完全没有残留粘合剂的稳定的粘合片。该半...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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