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本发明公开了一种薄膜晶体管的栅极断线修补方法,该方法包括以下步骤:(1)在薄膜晶体管的栅极断线处的两端定位两个点;(2)在定位到的两个点上,分别采用激光穿透该点的刻蚀阻挡层和栅绝缘层进行打孔,当孔到达栅极所在层时停止,形成孔1和孔2;(3)...该专利属于南京华东电子信息科技股份有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京华东电子信息科技股份有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司授权不得商用。