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本发明提供了一种半导体工艺及半导体结构,先由半导体衬底的正面进行半切割后,再在其正面设置保护膜,然后在从半导体衬底衬底的背面进行减薄处理,来分离各个半导体单元结构,从而可以既能减小切割深度,以减少切割刀具的过渡使用,还能在分离各个半导体单元...该专利属于矽力杰半导体技术(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽力杰半导体技术(杭州)有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种半导体工艺及半导体结构,先由半导体衬底的正面进行半切割后,再在其正面设置保护膜,然后在从半导体衬底衬底的背面进行减薄处理,来分离各个半导体单元结构,从而可以既能减小切割深度,以减少切割刀具的过渡使用,还能在分离各个半导体单元...