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本发明公开了一种高精度ITO光刻工艺，其包括以下步骤：ITO玻璃表面清洗；涂胶：对ITO玻璃表面上涂覆感光胶；前烘：对感光胶进行烘烤；曝光：将掩膜版与ITO玻璃上覆盖的感光胶层接触，再进行UV光照射；显影：显影阶段中：采用分段显影，第一次显...
该专利属于东莞通华液晶有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞通华液晶有限公司授权不得商用。

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