下载芯片顶层防护层完整性检测装置的技术资料

文档序号:16528039

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本发明涉及芯片抗聚焦离子束攻击领域,为提出一种基于sigma‑delta(Σ‑Δ)调制器的顶层金属防护层完整性检测方法,该方法通过检测金属走线电阻值是否改变来检测防护层是否完整,进而判断攻击者是否利用FIB对防护层进行修改。本发明采用的技术...
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