专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
天津大学
>
芯片顶层防护层完整性检测装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载芯片顶层防护层完整性检测装置的技术资料
文档序号:16528039
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及芯片抗聚焦离子束攻击领域,为提出一种基于sigma‑delta(Σ‑Δ)调制器的顶层金属防护层完整性检测方法,该方法通过检测金属走线电阻值是否改变来检测防护层是否完整,进而判断攻击者是否利用FIB对防护层进行修改。本发明采用的技术...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。