下载蒸发源和蒸镀装置的技术资料

文档序号:16525294

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本发明公开了一种蒸发源和蒸镀装置,该蒸发源包括:坩埚本体和坩埚上盖,坩埚本体上与坩埚上盖接触的表面为第一表面,坩埚上盖上与第一表面相接触的表面为第二表面,第一表面和第二表面中的一者上设置有凸结构,另一者上对应凸结构的位置设置有与凸结构相对应...
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