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下载抛光组合物的技术资料

文档序号:1652176

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一种抛光组合物,它包含平均初级粒度为200纳米或更小的磨料、氧化剂、pK1为2或更小的酸和/或它的盐、和水,其中抛光组合物的酸值为20~0.2毫克KOH/克;一种减少基片上微小擦痕的方法,它包括使用上述的抛光组合物抛光欲被抛光的基片;以及一...
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