下载金属和金属/电介质结构的化学机械抛光用组合物的技术资料

文档序号:1652165

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一种组合物,它包含:2.5~70%体积的30wt%阳离子改性硅溶胶的,其阳离子改性二氧化硅颗粒的平均粒度介于12~300nm;以及0.05~22wt%至少一种氧化剂;且其pH值介于2.5~6。...
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