下载用于抛光铜基金属的浆的技术资料

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一种用于抛光铜基金属的浆,包括二氧化硅抛光材料,氧化剂,氨基酸,三唑类化合物和水,其中,所述氨基酸与所述三唑类化合物的含量比(氨基酸/三唑类化合物(重量比))为5-8。...
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