下载抛光组合物的技术资料

文档序号:1652108

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本发明涉及一种适合用于抛光磁盘基片的抛光组合物。该抛光组合物包括研磨剂,它至少含选自以下组分中的一种:氧化铝、二氧化硅、氧化铈、氧化锆、氧化钛、碳化硅、氮化硅;抛光促进剂,它至少含选自以下组分中的一种:羧乙基硫代琥珀酸、羧乙基硫代琥珀酸盐以...
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