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抛光组合物制造技术
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文档序号:1652108
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本发明涉及一种适合用于抛光磁盘基片的抛光组合物。该抛光组合物包括研磨剂,它至少含选自以下组分中的一种:氧化铝、二氧化硅、氧化铈、氧化锆、氧化钛、碳化硅、氮化硅;抛光促进剂,它至少含选自以下组分中的一种:羧乙基硫代琥珀酸、羧乙基硫代琥珀酸盐以...
该专利属于福吉米株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过福吉米株式会社授权不得商用。
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