下载抛光组合物和抛光方法的技术资料

文档序号:1652064

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的抛光组合物含有二氧化硅、酸和水。二氧化硅是例如胶体二氧化硅、热解法二氧化硅或沉淀法二氧化硅。酸是例如盐酸,磷酸,硫酸,膦酸,硝酸,亚磷酸,硼酸,乙酸,衣康酸,丁二酸,酒石酸,柠檬酸,马来酸,乙醇酸,丙二酸,甲基磺酸,甲酸,苹果酸,葡...
该专利属于福吉米株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过福吉米株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。