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纳米氧化铈的制备方法及其在砷化镓晶片化学机械抛光中的用途技术
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文档序号:1652005
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本发明涉及超细粉体制备及其应用领域,其制备方法为称取一定量的硝酸铈和六亚甲基四胺(HMT)分别溶于乙醇与蒸馏水中,将两种溶液混合并用电动搅拌器搅拌均匀。其中Ce↑[3+]相对于总溶液的浓度范围为0.01~0.05mol/l,HMT与硝酸铈摩...
该专利属于江苏工业学院所有,仅供学习研究参考,未经过江苏工业学院授权不得商用。
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